UltraFlex B200T RS/SE

6/8 inch

UltraFlex B200T RS/SE

- 6/8兼容立式炉，支持客制化定制； - 6/8寸机台，该平台搭载不同的气路分配系统和反应腔体，可实现LP/AP等工艺；

详细介绍

产品优势

8寸机台，该平台搭载不同的气路分配系统和反应腔体，可实现LP/AP等工艺
控制精度高

温度±0.1℃；气体流量±1%；F.S 压力±1%
微环境控制

颗粒物及有机挥发物经过滤装置后，可满足先进工艺制程要求
自动化集成

UltraFlex300型设备配备OHT对接系统，可在客户端实现无人操作情况下自动运行程式
国产化比例

零部件国产化率约90%（按照金额计算）；核心管控parts自研开发

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